0.1μm超小型粒子计数器在半导体芯片制造环境中的应用

0.1μm超小型粒子计数器在半导体芯片制造环境中的应用在半导体芯片制造过程中，对生产环境的洁净度要求高，必须禁止因粉尘颗粒、工艺偏差等因素造成晶体短路或断路，

控制净化环境下的作业现场中超微小颗粒物数量，

以保证产品质量和提升产品良率，特别是对于0.1μm粒子的检测至关重要。

 

 

在半导体芯片生产过程中，粒子计数器主要应用于：1、 Fab厂的制造工艺检测：在晶圆的光刻、涂胶显影、刻蚀等多个工艺环节中，使用粒子计数器检测环境中的尘埃粒子，

确保工艺的精确性。2、G端封装过程：在晶圆切割封装过程中，粒子计数器同样发挥着关键作用，保证封装质量。3、 半导体设备生产工艺的质量监测：通过粒子计数器对设备工艺点进行监控，确保生产过程的稳定性和产品质量。

参考法规和标准：
粒子计数器严格遵守ISO 21501-4法规，并满足ISO 14644-1（2015）洁净室悬浮粒子测试方法的要求，适用于class 1至6级的洁净室环境。
使用方法：
参照ISO14644-1（2015）法规的内容，针对不同洁净度等级下监测粒径的上限要求，通过法规内容的计算方法测算采样点数及每个点采样时间，

对仪器进行设定后，按照该方法进行逐个点位测试。

 

KANOMAX公司推出的超小型尘埃粒子计数器3950-00，同时监测0.1μm和0.3μm的单位体积内的微小粒子个数，也可作为传感器嵌入生产设备实时监测作业现场的超微粒子，

为净化作业环境的洁净度评定提供依据，为芯片制造保驾护航！

 

Kanomax尘埃粒子计数器3950-00，DF性的技术革新，不仅将经典品质传承，而且W美实现了嵌入组装在半导体制造等装置中。

 

既往产品尺寸难以嵌入半导体制造装备中使用，本产品通过压倒性的小型化，使传感器嵌入设备中使用变为简便易行。

 

致轻、致小，采样量2.83L/min，同时测试0.1μm、0.3μm微小粒子，4.3英寸彩色触摸屏显示屏，可使用附带软件在PC上显示测试数据。

设有RS-485、Ethernet、USB通讯接口。